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NIKON
NEXIV VMR 影像量測系列
 
一,特點:這是一台自動量測時不需要人員在機器旁等候的CNC影像量測系統,可減少人員需求的量測儀器
1,真正三D量測軟體,XY、YZ、ZX投影面及3D量測作圖與分析
2,同軸雷射系統,可做Z軸快速對焦及2D掃瞄
3,多種光學鏡頭設計,提供多種工件需求(明視野、暗視野、干涉位相差等影像效果)
4,程控多固定倍率(類似金相工具顯微鏡鏡頭),倍率精度佳固定
5,多種光源設計,對於困難工件提供良好照明
6,超出影像範圍3倍自動搜尋量測位置(PMM功能影像搜尋功能),可不需治具量測,減少治具費用
7,高精度,也可選擇超高精度機種
8,教導式程式寫作方便簡易,傳承容易
9,可設定尋邊條件(當有多個邊界時),CNC時避免尋錯邊界,導致量測錯誤
10,CNC量測速度快速,達300m/sec,工件不易滑動
11,量測程式可做多個迴圈、小程式、多個座標系統及LINK其他量測程式
12,中文化介面,使用者權限,Excel DDE Link等方便功能
13,多種量測結果報告,包括指定格式、指定位置輸入(Excel)
14,有OFF
LINE程式設計(可在其他電腦設計量測程式)及雙向支援CAD/CAN
15,多種量測行程可供選擇(150mm~1200mm)
二,機型、量測行程與精度:
機型 |
VMR-H3030 |
VMR-1515 |
VMR-3020 |
VMR-6555 |
VMR-10080 |
VMR-12072 |
量測行程 |
300X300X150mm |
150X150X150mm |
300X200X150mm |
650X550X150mm |
1000X800X150mm |
1200X720X150mm |
最小讀取值 |
0.01 um |
0.1 um |
0.1 um |
0.1 um |
0.1 um |
0.1 um |
量測精度 |
Ux1y1 : 0.6+2L/1000 um |
Ux1y1 : 1.5+4L/1000 um |
Ux1y1 : 1.5+4L/1000 um |
Ux1y1 : 1.5+2.5L/1000 um |
Ux1y1 : 2+4L/1000 um |
Ux1y1 : 2.2+4L/1000 um |
Ux2y2 : 0.9+3L/1000 um |
Ux2y2 : 2.5+4L/1000 um |
Ux2y2 : 2.5+4L/1000 um |
Ux2y2 : 2.5+2.5L/1000 um |
Ux2y2 : 3+4L/1000 um |
Ux2y2 : 3.2+4L/1000 um |
Uz : 0.9+L/150 um |
Uz : 1.5+L/150 um |
Uz : 1.5+L/150 um |
Uz : 1.5+L/150 um |
Uz : 1.5+L/150 um |
Uz : 1.5+L/150 um |
鏡頭系統(光學) |
Type 1,2,3 Model |
Type 1,2,3 Model |
Type 1,2,3 Model |
Type 1,2,3 Model |
Type 1,2,3 Model |
Type 1,2,3 Model |
Z120X Model |
Z120X Model |
Z120X Model |
Z120X Model |
Z120X Model |
Z120X Model |
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LU Model |
LU Model |
LU Model |
LU Model |
LU Model |
三,光學鏡頭及光源系統:
1,Type 1,2,3 Models:影像效果--明視野
BF、立體顯微鏡影像
倍率視野表:

光源系統:
 
TTL同軸雷射系統:

2,Z120X Model:影像效果--明視野 BF、暗視野
DF

倍率視野表:

光源系統:同軸光源系統
TTL同軸雷射系統:


3,LU Model (金相顯微鏡鏡頭:CFI60
LU鏡頭):影像效果--明視野 BF、暗視野 DF、干涉位相差 DIC

高解像力,導電膜量測及導電粒子觀察、半導體、LCD及觸控面板適用
倍率表:

四,特殊功能:
1,APS(Auto Position Search):自動軸向校正
2,MPS(Multi-Pattern Search):影像搜尋功能
3,PMM(Pattern Matching
Measurement):影像比對功能
可控制相似度比率等,進行影像比對及搜尋
可擴大3倍影像範圍(視野外),以九格方式搜尋需要的影像

五,其他:

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