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            NAVIGATION TO MANO WORLD WITH COXEM

Scanning Electron Microcopy

           光學顯微鏡                  電子顯微鏡(SEM)


 

[Tabletop SEM]

[Year 2011 2nd Generation]-Low End

Resolution: 5.0nm

Magnification: 20x ~ 100,000x

Stage: auto X, Y, T, R

Interface: EDS, BSE

 

桌上型 SPECIFICATION EM-20、SPECIFICATION EM-30 (20X∼100,000X)


 

[Console SEM]

[Year 2010 2nd Generation]-Middle End

Resolution: 3.0nm

Magnification: 10x ~ 300,000x

Stage: auto X, Y, Z, T, R

Interface: EDS, WDS, BSE

 

落地型 SPECIFICATION CX-200TA、SPECIFICATION CX-200TM (15X∼300,000X)


 

 

 

Sample Preparation : KIC-1A Ion Coater

超過芯片離子鍍膜機

快速抽氣,不到三分鐘

從預設值的快速操作

自動真空控制

塗佈後全自動通風系統後

易於調整的樣品高度

目標材料的大小 : 直徑50mm

Power: 220 VAC/60 Hz, 400 W

離子電流 : 1~7 mA

真空室尺寸 : 100毫米直徑.

旋轉幫浦 : 100 liter/min.

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